Mainframes - Axcelis GDS VHE - 150mm Implant

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Numéro de lot
19
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T.V.A.: 21 %

Description

Axcelis GDS VHE - Implant
Current status tool : In fab in shutdown, cleaned and gasses removed, chamber to be decontaminated , to be deinstalled by buyer
Vintage: 2001
SN: VHE57
Wafersize: 150mm
200mm convertible: Yes
Former BelGaN MES/ERP name: MEV1

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